在半导体领域中,CDS通常有两种主要含义,具体取决于上下文:
中央化学液供应系统(Center Chemical Dispense System)
功能与应用:这是半导体制造中关键的自动化供液装置,负责为湿法制程(如清洗、蚀刻、显影等)提供精确配比的高纯度或腐蚀性化学液体。它支持多种化学液的混合、加热、冷却及循环控制,确保工艺参数的稳定性和一致性;
应用场景:包括光刻显影时的图案成型、晶圆表面杂质去除、湿法刻蚀塑造电路结构、化学机械抛光(CMP)、薄膜制备前的预处理等核心步骤;
技术特点:采用耐腐蚀材料(如PFA/PTFE),配备泄漏检测和氮气保护机制,满足Class 10级洁净度标准,并实现24小时不间断供液以保障生产效率和安全性。
硫化镉(Cadmium Sulfide, CdS)
材料属性:作为一种典型的半导体化合物,由镉(Cd)和硫(S)组成,具有较大的带隙能量(约2.4 eV),常温下表现为绝缘体但在高温时可导电;
应用领域:利用其量子尺寸效应和光学特性,可用于制备太阳能电池、光电传感器、光电子器件及催化反应催化剂(如水分解制氢);
形态特征:二维纳米结构的CdS晶体因表面效应展现出独特的电学与光学性能调控能力。
需要注意的是,在实际使用场景中,需结合上下文判断其具体指代对象。前者侧重于工艺设备的系统化支持,后者则指向特定功能的半导体材料。两者均体现了半导体行业对材料科学与精密控制的深度融合。
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